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等離子蝕刻設(shè)備使用電極感應(yīng)溫度還是用板子感應(yīng)溫度_珠海恒格微電子裝備有限公司
等離子蝕刻設(shè)備使用電極感應(yīng)溫度還是用板子感應(yīng)溫度
2020-05-09
master
1842
等離子蝕刻設(shè)備會監(jiān)控板面和電極溫度，以板面的溫度為跳步基準(zhǔn)。
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等離子蝕刻機清洗設(shè)備停電后有自動保存功能。
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等離子蝕刻機電極保養(yǎng)周期：6個月-12個月保養(yǎng)一次，視做板為情況確定。
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等離子蝕刻機清洗設(shè)備真空漏率為<20mtorr.
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