恒格等離子蝕刻設(shè)備和其他家等離子蝕刻設(shè)備比最大的差異與亮點(diǎn)：
腔體無(wú)縫焊接，真空漏率小于30mtorr/min；

電極一體成形，升溫導(dǎo)熱快、咬蝕率高、清洗保養(yǎng)不泄漏；

真空泵專(zhuān)利保護(hù)（變頻器/過(guò)熱/過(guò)流保護(hù)）；

電極、真空泵/電源采用獨(dú)立冷卻系統(tǒng)，運(yùn)行更加安全穩(wěn)定；

腔體前后門(mén)開(kāi)啟/腔體四周有可拆卸隔板方便維護(hù)保養(yǎng)